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Synthesis, microstructural and optical characterization of LiNbO3 thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition

ACUEDI
18/01/2015
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Descripción

En este trabajo se reporta la síntesis, la caracterización micro-estructural y las propiedades ópticas de películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3) depositadas sobre sustratos de silicio mediante el método de depósito químico de vapor asistido por aerosol (AACVD). Las películas depositadas fueron poli-cristalinas, uniformes, densas, no dispersoras de luz y firmemente adheridas al sustrato. Esto se dedujo de la realización de estudios de microscopía electrónica de alta resolución y de mediciones de espectros de reflectancia óptica. Las películas no fueron epitaxiales, sin embargo, se considera que son suficientemente lisas para ser empleadas en aplicaciones de guías de onda ópticas, dado que la rugosidad es muy baja comparada con la longitud de onda de la radiación con posibilidades de uso.


Ocón-Arellanes, J. et al. (2014). Synthesis, microstructural and optical characterization of LiNbO3 thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition. Acta Universitaria, 24(4), pp. 21-26.

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